详细摘要: 使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量,可进行高精度膜厚度 光学常数分析。 可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。...
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